IDAS LPS-V3¡Ê¥Ö¥í¡¼¥É¥Ð¥ó¥É¥Í¥Ó¥å¥é¡¼¥Õ¥£¥ë¥¿¡¼¡Ë

Àß·×ÃͤÎʬ¸÷¥Á¥ã¡¼¥È¤Ç¤¹¡£¼ÂºÝ¤ÎÀ½ÉʤǤϿô¥Ñ¡¼¥»¥ó¥ÈÆ©²áΨ¤¬Äã²¼¤·¤Þ¤¹¡£
¡¡
¡¡
¡¡
¡¡
¡¡
¡¡
¡¡
¡¡

LPS-V3¤Ï¡¢
IDASÆȼ«¤ÎMBT(Multi Band-pass Technology)¤ò¶î»È¤·¤¿¡¢¥Ï¥¤¡¦¥Ñ¥Õ¥©¡¼¥Þ¥ó¥¹¡¢¥Ö¥í¡¼¥É¥Ð¥ó¥É¥Í¥Ó¥å¥é¥Õ¥£¥ë¥¿¡¼¤Ç¤¹¡£
IGAD(Ion-Gun Assist Deposition)¤Ë¤è¤ê¥³¡¼¥Æ¥£¥ó¥°¤µ¤ì¤Æ¤¤¤Þ¤¹¡£
IGAD¤Ï´³¾Ä¥Õ¥£¥ë¥¿¡¼¤Î¿´Â¡Éô¤Ç¤¢¤ë¿ÁØÇöËì¤ò¹âÌ©ÅÙ²½¤¹¤ë¤â¤Î¤Ç¡¢½¾Íè¤Î¿ÁØÇöËì¤ÇÆÀ¤é¤ì¤Ê¤¤°Ê²¼¤ÎʪÀ­¤¬ÆÀ¤é¤ì¤Þ¤¹¡£
¡¡¡¡¡¡1¡¢ÇöËì¤ÎÂѵ×À­¤¬¹¹¤ËÎɤ¯¤Ê¤ê¤Þ¤·¤¿¡£³Æ¥Õ¥£¥ë¥¿¡¼¤ÎÇöËì¤Î¹Å¤µ¤ÏÀбѥ¬¥é¥¹¤ËɤŨ¤·¤Þ¤¹¡£
¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¤Þ¤¿¡¢Â¿ÁØÇöËì¤È¥Õ¥£¥ë¥¿¡¼´ðÈĤÎÌ©ÃåÀ­¤âÃø¤·¤¯²þÁ±¤µ¤ì¤Æ¤¤¤Þ¤¹¡£
¡¡¡¡¡¡2¡¢²¹ÅÙ¡¢¼¾Å٤ˤè¤ëʬ¸÷ÆÃÀ­¤Î·Ð»þÊѲ½¤Ï¿Í´Ö¤¬À¸³è¤·¤Æ¤¤¤ë´Ä¶­Æâ¤Ç¤ÏÁ´¤¯¤È¸À¤Ã¤ÆÎɤ¤¤Û¤É¤¢¤ê¤Þ¤»¤ó¡£

LPS-V3¤ÎÆÃħ
½¾Íè·¿¤Î¥Ê¥í¡¼¥Ð¥ó¥É·¿¥Í¥Ó¥å¥é¥Õ¥£¥ë¥¿¡¼¤Ç¤Ï¡¢O­·Ž¤H¦Â¤Î¤ß¤ò¹Íθ¤·¤¿À߷פˤʤäƤ¤¤Þ¤·¤¿¤¬¡¢LPS-V3¤Ï¡¢×ÂÀ±¤ÎC2¥³¥Þ¡¢H¦Á¡¢N­¶¤â¶ËÎÏÆ©²á¤¹¤ë¹­¤á¤Î¥Ð¥ó¥É¥Ñ¥¹À߷פȤ·¤Æ¤¤¤Þ¤¹¡£
¤Þ¤¿¡¢ÎäµÑCCD¡¢°ì´ã¥Ç¥¸¥«¥á¡¢¶ä±ö¼Ì¿¿¡¢´ã»ë¤Î³ÆÍÑÅÓ¤òÌä¤ï¤º¡¢ÏÇÀ±¾õÀ±±À¡¢È¯¸÷·Á»¶¸÷À±±À¡¢×ÂÀ±¤ÎÀÄÎп§¤Î¥³¥Þ¤ò¥Ï¥¤¡¦¥³¥ó¥È¥é¥¹¥È¤Ë»£±ÆµÚ¤Ó¸«¤ë»ö¤¬²Äǽ¤Ç¤¹¡£